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本裝置SF6氣體回收裝置具有抽真空、回收貯存、充放、灌瓶、凈化干燥五個基本功能及相應的組合功能，下面按各功能分別說明其操作，參見附錄四操作面板流程圖，操作時應注意按先后順序進行。
閥門在下述開機時均假設處于關閉狀態。
1、抽真空
指將裝置或系統從一個大氣壓抽至本裝置極限真空度或認定的真空度。
注意點：
a) 開真空泵抽真*，根據需要決定是否連接管路排放至室外。
b) 開真空泵抽真*，必須保證被抽裝置或系統壓力為零表壓或以下。
c) 凡需要觀察真空度時，打開V8閥門，觀察完畢后隨時關閉V8閥門。
d) 真空保持狀態下請不要啟動SF6壓縮機。
六氟化硫SF6氣體回收裝置當開機使用或裝置處于通大氣狀態時應先對裝置本身抽真空，操作方法見下表①
當需要回收時，應先對連接管路抽真空（與軟管連接的電器設備出口處閥門此時應關閉），操作方法見下表②
當需灌瓶時，操作方法同上，見下表③
2、回收貯存
指將電器設備中SF6氣體回收至裝置貯存容器內貯存，一般從回收初壓力回收至本裝置回收終壓力或認定的回收終壓力。
(1) 管路連接后，六氟化硫SF6氣體回收裝置首先應確定是否需對裝置或管路抽真空，判斷和操作方法見本節1，抽真空有關內容。
(2) 根據回收當時環境溫度和回收氣體量多少提前半至一小時啟動冷凍壓縮機，直至回收結束。
(3) 回收初始，回收初壓力(M1)較高時，開V7、半開V2 、V3、SF6壓縮機。
(4) 開機后應注意觀察SF6壓縮機的排氣壓力表(M2)，M2的壓力指示值應小于2.0MPa，壓縮機出口端接點壓力控制器，若指示值達到限定值2.0MPa，壓力控制器能自動切斷壓縮機的運行，待壓力下降并穩定后，重新啟動壓縮機。所以當排氣壓力上升過快時，可適當調節壓縮機進氣口V2閥門開啟的大小來控制。
(5) 回收過程中應通過視鏡玻璃注意觀察貯存容器內液面情況，最高液位不可超過視鏡2/3處。
(6) 回收達到回收終壓力或預定值時，回收工作結束。
(7) 關冷凍壓縮機，關V3、SF6壓縮機、V2、V7。
3、充放
指將貯存于裝置貯存容器內的SF6充至電器設備直至達到所需的工作壓力。
(1) 管路連接后首先應確定是否需對電器設備及管路抽真空，判斷和操作方法見本節1抽真空有關內容。
(2) 當貯存容器壓力較高時，開V4，直接向電器設備充氣，可觀察M6壓力表值。
(3) 當貯存容器壓力降低后，無法直接向電器設備充氣，六氟化硫SF6氣體回收裝置在V7處外接氣源通過V7、V6直接向電器設備充氣；或外接氣源壓力較低時也利用壓縮機將外接氣源的SF6充至電器設備內，這時關V6，開V7、V2、V3、SF6壓縮機、V4，直至達到所需的工作壓力。
(4) 停機應將系統內的SF6用壓縮機收至貯存容器內，直至吸氣口壓力(M1)為零表壓，關SF6壓縮機及有關閥門。
4、灌瓶
灌瓶是指直接將電器設備內的SF6回收充入鋼瓶。
(1) 管路連接后，首先應確定是否需抽真空，回收管路和鋼瓶連接管路可一起抽。
(2) 提前開冷凍壓縮機。
(3) 開V7、V2、SF6壓縮機、V3、V4、鋼瓶閥門,進行罐瓶。
(4) 灌瓶過程中，注意SF6壓縮機排氣壓力，若接近1.9MPa，應進行切換操作，以放出鋼瓶上部高壓氣體，使其進入低壓的容器內。
(5) 切換操作：關V7、V4、迅速開 V5，約1~2分鐘，操作者自行掌握。恢復充液時關V5，開V7并迅速開V4，可反復切換，直至鋼瓶充滿。
(6) 鋼瓶充滿后，關V7、V4、鋼瓶閥門。六氟化硫SF6氣體回收裝置利用壓縮機將管路內存有液體抽盡，直至M1壓力表達到零表壓。關SF6壓縮機、冷卻器、冷凍壓縮機及有關閥門。
注：罐瓶指貯液罐內已有一定量的SF6液體，可隨時觀察液位指示。
5、凈化、干燥
六氟化硫SF6氣體回收裝置在不降低原氣體的純度情況下，對SF6氣體中所含有的固體雜質、油份、水份加以去除，從而保證進入電器設備的SF6氣體的純度。一般的凈化干燥隨回收貯存和充放過程 同步完成，自循環凈化方法如下：
貯液罐內SF6自循環時，開冷凍壓縮機、V5、V2、SF6壓縮機、V3。若SF6壓縮機排氣壓力太高可調節V2閥門開啟大小，以便氣體正常循環。
自循環結束時，關V5、V2、SF6壓縮機、V6、冷凍壓縮機等。
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