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六氟化硫SF6氣體回收裝置操作流程：
1、SF6氣體的回收
當SF6從一個氣室中抽出時，氣體便自動地流經凈化過濾器，通過SF6壓縮機壓縮冷卻，可以氣態也可以在一定溫度、壓力下以液態形式儲入SF6貯罐。（見圖1）
2、SF6開關抽真空
通過真空泵把開關中的空氣及濕氣可以抽除，真空泵的出口通向大氣。（見圖2）
3、充氣經凈化和干燥的SF6從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，直到氣室內壓力達到調定的工作壓力。上述工作分兩個步驟進行：
1、 借助SF6貯罐壓力使氣體流向SF6開關，直至達到預定的充氣壓力。（見圖4）
2、當SF6貯罐壓力與SF6開關壓力平衡時，再采用壓縮機進行加壓充氣，直至達到預定充氣壓力。（見圖3）
技術參數
| 型 式 | 冷凍液化,風冷,手推移動式 | |
| 工作環境溫度 | -10℃～40℃ | |
| 回收 | 初壓力(Mpa) | 0.8 |
| 終壓力(Mpa) | ≤0.05 | |
| 1m3容積所需時間(h/m3) | ≤1 | |
| 充氣 | 初壓力(Pa) | ≤133 |
| 終壓力(Mpa) | ≤0.8 | |
| 1m3容積所需時間(h/m3 ) | ≤0.3 | |
| 抽真空從0.1MPa至133Pa需時間 (h/m3 ) | ≤0.5 | |
| 極 限 真 空 (Pa) | ≤10 | |
| 年 泄 漏 率 | ≤1% | |
| 回收后SF6氣體純度 | 水分(PPM/V) | ≤60 |
| 油分(PPM/W) | ≤10 | |
| 塵埃(um) | ≤1 | |
| 貯 | 貯存方式 | 液態 |
| 存 | 壓力(MPa) | 4.0 |
| 容 | 容積(L) | 200 |
| 器 | 貯液量(kg) | 200 |
| 液化方式 | 冷凍液化 | |
| 汽化方式 | 電加熱 | |
| 干燥過濾器再生方式 | 真空加熱活化再生 | |
| 電源 | 三相五線 3Φ 380V有零線 | |
| 總功率(kW) | ≤15 | |
| 噪聲dB(A) | ≤75 | |
| 外形尺寸(mm) | 1770mm×1060mm×1900mm | |
| 設備自重(kg) | ≤1100KG |
SF6氣體回收裝置配置：
1、SF6壓縮機要求：
a：理論排氣量：15m3/h
b：最大排氣壓力：2.5Mpa
c：最小吸氣壓力：50Kpa
d：最大吸氣壓力：0.35~0.8 Mpa
e：功率：2.2KW
f：電源：380V 50HZ
2、真空泵采用：雙級旋片式真空泵
a：真空泵采用風冷式可長期運行
b：抽真空速率12L/s
c：極限真空度0.06pa
d：功率1.5KW
3、 SF6制冷機組的要求：ANKANG主機2.32KW
4、過濾系統（凈化系統）：采用美國Hankison原理，過濾器雙級過濾，真空活化自再生處理）
5、接頭：M27*1.5mm
6、安全閥：
7、閥門: DN15—13.5MPa
8、貯液罐：200L，最高壓力3.8Mpa
9、壓力表：
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